配置：

1.冷场发射电子枪,200KV\80KV加速电压可调。

2.STEM球差校正器（德国CEOS公司）。

3.OneView相机、GIF Continuum K3 System（美国Gatan公司）。

4.超快附件: 静电剂量调制器 Electrostatic Dose Modulator（美国IDES公司）。

5.STEM探头：HADDF\BF\ABF（JEOL）;ADF\BF(Gatan)。

6.CM冷却系统、IL冷却系统、OL冷却系统。

7.100平方毫米无窗型电制冷能谱仪（JEOL）。

8.环境改造工程：主动减震器、主动消磁器。

9.样品杆：单倾杆、普通双倾杆、铍双倾杆、液氮低温台（Gatan）、加热加电场杆(1200度DENSsolution)、真空转移杆(Gatan)。

指标参数：

1.TEM模式点分辨率：0.23nm（200kv）。

2.TEM模式晶格分辨率：0.1nm（200kv&80kv）。

3.TEM模式信息极限分辨率：0.11nm（200kv）；0.13nm（80kv）。

4.STEM模式分辨率：0.078nm(200kV); 0.136nm（80kV）。

5.聚光镜球差校正后的龙池图（Rongchigram）200KV≥50mrad；80KV ≥50mrad。

6.EELS能量分辨率:0.33ev。

测试说明：

    本设备还在安装调试过程中，暂时未对外开放预约使用。